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    干式真空泵的故障原因及解決辦法

          過去, 人們在了各種的半導體的工藝中廣泛使用油式真空泵,其中又以了懸片式的真空泵和活塞式真空泵為主要代表。而它們在了各種的應用中的表現越來越不能使人們感到滿意。因此,干式真空泵的應運而生。在過去了的十多年里了,有好幾種的不同類型的干式真空泵被設計了和生產出來,它們在機械的結構設計上有明顯差異。因為這種差異,我們可以將干式真空泵歸納為了以下的幾種類型:圓裂片式,爪式,組合式(羅茨+爪),螺桿式。當今,這些類型被不同的生產的廠家所廣泛的應用。

        干式真空泵機器不會動 沒有接上電源  電壓不足  電容器故障  線路接錯  馬達故障  馬達溫控開關跳脫  周圍環境太高  管路內有背壓   檢查電源  檢查電壓  檢查電容器,必要時更換它  檢查線路  送回檢修  等馬達溫度降低后,再激活運轉  改善通風效果  消除管路內背壓或改采可再次激活機型之空壓機式真空泵浦    

        二、干式真空泵真空度或壓力不足   管路有漏  空氣過濾器因太臟而阻塞  機器汽缸內之油封墊片破損  活塞環(cup)太臟或破損  處理非一般性氣體  金屬閥片破損   檢查并填補漏氣的地方  清理或更換濾心  更換油封墊片  清理或更換活塞環(cup)  只能處理一般性氣體  更換金屬閥片    

        三、干式真空泵噪音太高 軸承損壞  金屬閥片毀損  消音器不適用  活塞環(cup)毀損  機器震動嚴重   更換軸承  更換金屬閥片  選用適當的消音器  更換活塞環(cup)  使用適當防震腳墊以減少震動