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    行業新聞/Professional Information
    干式真空泵的工作方法及使用

     干式真空泵又稱為干式機械泵是指泵可以在大氣的壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排放到大氣中去。干式真空泵的產品現在廣泛應用,它的應用范圍主要是在低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;還有運用在半導體刻蝕工藝上,在這些生產工藝中經常會用到或生成腐蝕 性氣體和研磨微粒;除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式真空泵可以滿足這種要求;干式真空泵還可以用在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、包裝等方方面面,用干式真空泵防有助于防止有機溶劑造成污染;干式真空泵還可用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。

    現今,干式真空泵行業使用的大部分干式真空泵都是用油、水或其它流體充當泵的工作介質,可以在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的快速發展以及真空應用領域的不斷擴大,以前的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了急需解決的兩個問題:第一是泵的工作介質返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下是影響產品的質量好壞、數量多少,還會增加設備的維護成本。第二是由于某些工藝過程中的反應物質使干式真空泵內的介質嚴重變質,使泵工作不能正常。

    干式真空泵