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    行業新聞/Professional Information
    干式真空泵的使用范圍

     相對于普通的無油真空系統來說,干式真空泵能夠使工作容積中無油,它給我們的使用帶來的益處還是很多的。首先提到的是,干式真空泵的使用增強了泵的可靠性能。因為干式真空泵并不像油密封泵那樣容易受到水蒸氣或者是塵粒的影響,所以在使用壽命上,干式真空泵要更耐用一些,而且使用中所需要的維護也會相對的較少些。這樣還大大的減少了用油的成本問題,還將污染問題降到了最低。

        我國真空行業使用的大多數機械真空泵都是用油、水或者是其它聚合物等液體充當泵的工作介質,在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種的作用。而干式真空泵是無油干式機械真空泵,它是指泵能夠從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽的氣體直接排到大氣中去,泵腔內沒有油或者其它的工作介質,并且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。
        在我國的工業化生產中,很多的行業都有干式真空泵的使用,比如低電化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中、半導體刻蝕工藝中、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝中還有用作一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油的污染。
        在選擇干式真空泵時,及時的了解它的種類和性能,能夠很好的幫助我們進行作業。從干式真空泵的性能上看,不同種類的真空泵,其實用性能也有不同。
    干式真空泵